| AIN压电振动能量收集器的结构优化设计与实验 |
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| 引用本文： | 周雅慧,温志渝,贺显明,路庄,陈永军.AIN压电振动能量收集器的结构优化设计与实验[J].传感器与微系统,2018(7):18-21. |
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| 作者姓名： | 周雅慧 温志渝 贺显明 路庄 陈永军 |
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| 作者单位： | 重庆大学微系统研究中心,重庆400044;重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆400044;重庆大学光电工程学院,重庆400044 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(61604023)，国家高技术研究发展计划(“863”计划)资助项目(2015AA042603) |
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| 摘 要： | 在整体尺寸不变的基础上,结合集总参数模型,利用ANSYS有限元软件对氮化铝(AlN)压电振动能量收集器的结构参数进行优化设计,得到压电悬臂梁单元的优化尺寸为5mm×12mm×0.05mm.设计了工艺流程,加工了原理样机.经测试:在1gn加速度,204.6 Hz谐振频率激励下,样机在最优化负载80 kΩ下的输出电压为2.3V,输出功率为66.125μW,满足部分低功耗传感节点的供能要求.
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| 关 键 词： | 氮化铝 微机电系统 压电 能量收集器 |
Structure optimization design and experiment of AIN piezoelectric vibration energy harvester |
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| ZHOU Ya-hui,WEN Zhi-yu,HE Xian-ming,LU Zhuang,CHEN Yong-jun.Structure optimization design and experiment of AIN piezoelectric vibration energy harvester[J].Transducer and Microsystem Technology,2018(7):18-21. |
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| Authors: | ZHOU Ya-hui WEN Zhi-yu HE Xian-ming LU Zhuang CHEN Yong-jun |
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