| 声表面波传感器的原理及应用综述 |
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| 引用本文： | 潘小山,刘芮彤,王琴,李功燕.声表面波传感器的原理及应用综述[J].传感器与微系统,2018(4):1-4. |
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| 作者姓名： | 潘小山 刘芮彤 王琴 李功燕 |
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| 作者单位： | 中国科学院微电子研究所,北京朝阳,100029
国网辽宁省电力有限公司电力科学研究院,辽宁沈阳,110006 |
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| 摘 要： | 详细论述了声表面波传感器的工作模式、工作原理;结合目前声表面波传感器的发展状况,详细论述了声表面波在智能变电站、电力设备、列车、湿度检测以及在复杂多变环境中的应用;对声表面波传感器的发展给出了展望.
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| 关 键 词： | 声表面波 传感器 工作原理 应用 surface acoustic wave（SAW） sensors operating principle application |
Review of principle and application of surface acoustic wave sensors |
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| PAN Xiao-shan,LIU Rui-tong,WANG Qin,LI Gong-yan.Review of principle and application of surface acoustic wave sensors[J].Transducer and Microsystem Technology,2018(4):1-4. |
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| Authors: | PAN Xiao-shan LIU Rui-tong WANG Qin LI Gong-yan |
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| Abstract: | Operating mode and operating principle of surface acoustic wave(SAW)sensors are discussed in detail.Application of SAW in field of intelligent substation,electrical equipment,train,humidity detection,and in complex variable environments are reviewed in details. Outlook of development of SAW sensors is briefly discussed. |
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