| 微量程段的热式气体质量流量传感器研制 |
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| 引用本文： | 胡娜娜,刘莹,徐露,钱江蓉,胡国俊. 微量程段的热式气体质量流量传感器研制[J]. 传感器与微系统, 2018, 0(7): 117-118,130. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2018)07-0117-02 |
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| 作者姓名： | 胡娜娜 刘莹 徐露 钱江蓉 胡国俊 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第三十八研究所微电子封装研究中心,安徽合肥,230000 |
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| 摘 要： | 研制了一种微量程段的热式气体质量流量传感器.传感器芯片通过微机电系统(MEMS)工艺制备,芯片包括上下游测温电阻器和环境电阻器,其中测温电阻器有4只,对称分布在芯片中央位置,构成惠斯通电桥,芯片工作中采用恒压模式驱动.当气体流过芯片表面时,会导致检测电桥不平衡,流量信号变化转换为相应的电压信号.通过实验标定了传感器的输出曲线并对传感器的精度进行了测试,测试结果表明:研制的传感器在流量0 ～5 mL/min的量程范围内,具有响应速度快、精度高的优点.
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| 关 键 词： | 微机电系统 微量程 气体质量流量传感器 高精度 |
Research and fabrication of micro-range thermal gas mass flow sensor |
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| HU Na-na,LIU Ying,XU Lu,QIAN Jiang-rong,HU Guo-jun. Research and fabrication of micro-range thermal gas mass flow sensor[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2018, 0(7): 117-118,130. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2018)07-0117-02 |
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| Authors: | HU Na-na LIU Ying XU Lu QIAN Jiang-rong HU Guo-jun |
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