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| 测量透明膜层厚度的光程补偿法 | |
| 作者姓名： | 杜贤和 张锦秀 |
| 作者单位： | 中国计量科学研究院，中国计量科学研究院 |
| 摘 要： | 一、测量装置简述该装置(图1)用于快速、非破坏性地测量透明膜层的厚度。红外灯泡1的缺紫外光线(为了避免用乳胶透明膜时感光)经抛物镜2聚光成平行光束射向标准光程补偿板B。由B′、B″两个表面反射60°后,再射向被测物A,由膜层表面A′及衬底A″反射经显微镜C进入视场。在视场中将看见两套白光彩色干涉带组,一套是标准光程补偿板引进的;另一套则是当A′-A″的光程正好被B′-B″的光程所补偿时,出现的白光零次干涉带。由于光线倾斜30°角入射,使膜层表面能反射出较强的反射光,可获得对比度 |
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