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真空蒸发法制备自支撑多层靶
引用本文:尹建华,王秀英.真空蒸发法制备自支撑多层靶[J].原子能科学技术,1999,33(4):353-356.
作者姓名:尹建华  王秀英
作者单位:中国科学院近代物理研究所,兰州,730000
摘    要:采用真空蒸发技术制备核物理实验用 C+ Pb+ Ni、 C+ Pb+ Co、 C+ Pb+ S+ Al多层自支撑靶膜。实验选定以1 % 肥皂液作解离剂,视不同蒸发元素,选择形状与尺寸适宜的蒸发舟。 C、 Pb、 Ni、 Co、 S、 Al膜的质量厚度分别为10~15、约100、30~60、30~60、30~50 和 10 μg·cm - 2。制备出的膜层平展,薄而均匀,无针孔。

关 键 词:自支撑多层靶  真空蒸发  薄膜  核物理实验

PREPARATION OF SELF-SUPPORTING MULTILAYER TARGETS
Yin Jianhua,Wang Xiuying.PREPARATION OF SELF-SUPPORTING MULTILAYER TARGETS[J].Atomic Energy Science and Technology,1999,33(4):353-356.
Authors:Yin Jianhua  Wang Xiuying
Abstract:
Keywords:Self  supporting multilayer target  Vacuum evaporation  C Pb Ni  C Pb Co  C Pb S Al  
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