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Biaxial Fracture Test of Silicon Wafers |
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| Authors: | C. Funke,E. Kullig,M. Kuna,H.J. M ller |
| Affiliation: | C. Funke,E. Kullig,M. Kuna,H.J. Möller |
| Abstract: | |
| Keywords: | Fracture tests Silicon wafers |
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