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| 溶胀对裂片径迹直径法测体蚀刻速度的影响 | |
| 作者姓名： | 翟鹏济 康铁笙 |
| 作者单位： | 中国科学院高能物理所(翟鹏济)，中国科学院高能物理所(康铁笙) |
| 摘 要： | 聚碳酸脂塑料膜已被广泛用作固体径迹探测器,它有较好的灵敏度、热稳定性和蚀刻行为,使用安全而且便宜。使用这类探测器需要了解的一个基本参量是它的体蚀刻速度V_B。V_B与材料本身的特性有关,同一种材料的V_B又与蚀刻剂种类、浓度、蚀刻温度以及蚀刻方式及因素有关。测量V_B通常使用失厚法,即在 |
| 关 键 词： | 溶胀 体蚀刻速度 聚碳酸脂 核径迹探测器 |
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