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| 电泳磨削影响因素的探讨 | |
| 引用本文： | 许雪峰,胡建德.电泳磨削影响因素的探讨[J].机械工程师,1997(6):1-2. |
| 作者姓名： | 许雪峰 胡建德 |
| 作者单位： | 浙江工业大学机电工程学院 |
| 摘 要： | 介绍了电泳磨削的工作原理，通过对半导体硅片的磨削试验，探讨了电泳磨削影响因素的作用机理。 |
| 关 键 词： | 电泳 磨削 影响因素 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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