| 小型电容薄膜真空规的设计 |
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| 引用本文： | 孙雯君,冯焱,马奔,习振华,成永军,赵澜.小型电容薄膜真空规的设计[J].真空与低温,2012,18(4). |
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| 作者姓名： | 孙雯君 冯焱 马奔 习振华 成永军 赵澜 |
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| 作者单位： | 兰州空间技术物理研究所,甘肃兰州,730000 |
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| 摘 要： | 商用电容薄膜真空规存在体积大、重量重等问题,无法满足深空探测中真空测量需求,因此设计了一种小型电容薄膜真空规.设计中采用倒T型结构固定极板和防热变形结构,防止测量过程中温度变化导致的规管部件热变形；采用面积相同的双电极结构,消除测量过程中外界杂散电容和温度变化引起的测量信号偏差.小型电容薄膜真空规整体尺寸为φ42×24 mm,重量小于200 g,测量下限为10-2 Pa,测量不确定度预计小于5％,能适应较宽的工作温度范围,可以满足深空探测需求.
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| 关 键 词： | 真空计量 真空测量仪器 电容薄膜真空规 结构设计 |
DESIGN OF MINIATURE CAPACITANCE DIAPHRAGM VACUUM GAUGE |
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| SUN Wen-jun
,
FENG Yan
,
MA Ben
,
XI Zhen-hua
,
CHENG Yong-jun
,
ZHAO Lan.DESIGN OF MINIATURE CAPACITANCE DIAPHRAGM VACUUM GAUGE[J].Vacuum and Cryogenics,2012,18(4). |
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| Authors: | SUN Wen-jun FENG Yan MA Ben XI Zhen-hua CHENG Yong-jun ZHAO Lan |
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