| 微机械加工技术─LIGA技术 |
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| 引用本文： | 张光照,王香文. 微机械加工技术─LIGA技术[J]. 传感器与微系统, 1997, 0(2) |
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| 作者姓名： | 张光照 王香文 |
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| 作者单位： | 东北传感技术研究所!哈尔滨，150001 |
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| 摘 要： | 简要介绍了LIGA（利嘎）工艺过程、特点和应用实例。
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| 关 键 词： | X射线 光刻 微电镀 复制 |
Micromachining Technologies-LIGA Technologies |
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| Zhang Guangzhao,Wang Xiangwen. Micromachining Technologies-LIGA Technologies[J]. Transducer and Microsystem Technology, 1997, 0(2) |
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| Authors: | Zhang Guangzhao Wang Xiangwen |
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| Affiliation: | Northeast China Research Institute of Transduction Technology Harbin 150001 |
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| Abstract: | The process of LIGA technology, characteristics and applications are briefly presented in this paper. |
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| Keywords: | X-ray Lithography Microforming Replication |
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