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基片表面处理对金刚石成核密度影响的研究

引用本文：	陈刚,常志鹏.基片表面处理对金刚石成核密度影响的研究[J].真空科学与技术,1994,14(4):276-279.

作者姓名：	陈刚常志鹏

摘要：
关键词：	金刚石薄膜成核密度基片处理
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