| 在线低压等离子清洗研究 |
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| 引用本文： | 杨文伟,杜海文,王大伟,续艳鑫.在线低压等离子清洗研究[J].电子工艺技术,2011,32(1):12-15,27. |
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| 作者姓名： | 杨文伟 杜海文 王大伟 续艳鑫 |
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| 作者单位： | 杨文伟,续艳鑫,YANG Wen-wei,XU Yan-xin(太原理工大学,山西,太原,030024);杜海文,DU Hai-wen(太原理工大学,山西,太原,030024;中国电子科技集团第二研究所,山西,太原,030024);王大伟,WANG Da-wei(中国电子科技集团第二研究所,山西,太原,030024) |
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| 摘 要： | 介绍了一种高效环保的在线等离子清洗方法,深入研究了低压下等离子的清洗原理和在线式的清洗机制,提出了介质气体的选配原则,分析了榆测表面自由能和洁净程度的接触角测试方法.通过实验,在氩等离子在线清洗中,用接触角测试仪测定固体表面清洗前后粘附功的变化,发现在氩等离子清洗后固体表面粘附功提高了54.7%,相对于普通的射频等离子...
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| 关 键 词： | 低压等离子 接触角 等离子清洗 表面自由能 粘附功 |
Research of Low Pressure Plasma Cleaning Inline |
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| YANG Wen-wei,DU Hai-wen,WANG Da-wei,XU Yan-xin.Research of Low Pressure Plasma Cleaning Inline[J].Electronics Process Technology,2011,32(1):12-15,27. |
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| Authors: | YANG Wen-wei DU Hai-wen WANG Da-wei XU Yan-xin |
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| Affiliation: | YANG Wen-wei1,DU Hai-wen1,2,WANG Da-wei1,XU Yan-xin1(1.Taiyuan Technology University,Taiyuan 030024,China,2.The Second Research Institute of CETC,China) |
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| Abstract: | Introduce an efficient and environmental plasma cleaning inline technique.Study the cleaning principle and inline mechanism under low-pressure plasma,and propose the match principle of dielectric gas,finally analyze the examination of surface free energy and the test method of contact angle for cleanliness conditions.The experiment used contact angle tester to test the work change of adhesion on solid surface before and after cleaning.It is found that the adhesion work was improved about 54.7% after cleanin... |
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| Keywords: | Low-pressure plasma Contact angle Plasma cleaning Surface energy Work of adhesion |
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