| 微机电系统中微摩擦特性及控制研究 |
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| 引用本文： | 刘莹,温诗铸. 微机电系统中微摩擦特性及控制研究[J]. 机械工程学报, 2002, 38(3): 1-5 |
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| 作者姓名： | 刘莹 温诗铸 |
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| 作者单位： | 1. 南昌大学机电工程学院,南昌,330029
2. 清华大学 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重点资助项目（59735110）。 |
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| 摘 要： | 针对微机电系统设计中存在的微摩擦问题，论述了开展微观摩擦研究的意义和必要性。全面总结了微摩擦基本特性研究的进展，包括微观摩擦与宏观摩擦的对比，微观摩擦与表面形貌的相关性，以及粘滑现象等。提出了控制微摩擦特性的一些主要研究方向。
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| 关 键 词： | 微机电系统 微摩擦 特性与控制 |
| 修稿时间： | 2001-08-16 |
STUDY ON PERFORMANCES OF MICRO-FRICTION AND ITS CONTROL IN MEMS |
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| Liu Ying Wen Shizhu. STUDY ON PERFORMANCES OF MICRO-FRICTION AND ITS CONTROL IN MEMS[J]. Chinese Journal of Mechanical Engineering, 2002, 38(3): 1-5 |
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| Authors: | Liu Ying Wen Shizhu |
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| Affiliation: | Liu Ying Wen Shizhu (Nanchang University) (Tsinghua University) |
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