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CZ硅中氧沉淀与P—N结漏电流间的相互关系

引用本文：	徐永宽.CZ硅中氧沉淀与P—N结漏电流间的相互关系[J].电子材料快报,1999(10):13-14.

作者姓名：	徐永宽

摘要：
关键词：	CZ 硅氧沉淀 PN结漏电流
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