| 定向沉积法对Nd2Fe14B薄膜形态和磁性能的影响 |
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| 引用本文： | 傅明喜 宗华 李岩 查燕清. 定向沉积法对Nd2Fe14B薄膜形态和磁性能的影响[J]. 稀有金属材料与工程, 2006, 35(7): 1109-1112 |
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| 作者姓名： | 傅明喜 宗华 李岩 查燕清 |
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| 作者单位： | 江苏大学,江苏,镇江,212013 |
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| 基金项目： | 江苏省教育厅高校科研项目 |
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| 摘 要： | 采用直流励磁磁控溅射法制备NdFeB稀土永磁薄膜.研究分析了衬底预热与定向沉积法对薄膜结构和磁性能的影响.实验结果表明：定向沉积技术制备出的NdFeB薄膜表面形成单一方向的柱状晶,该柱状晶生长方向垂直于薄膜表面,使薄膜具有良好的磁各向异性,薄膜矫顽力大大提高,H⊥/H∥比值改善.在预热温度200℃逐渐加热到500℃并保温10 min时,薄膜磁性能最佳.
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| 关 键 词： | NdFeB薄膜 定向沉积 动态加热 磁性能 |
| 文章编号： | 1002-185X(2006)07-1109-04 |
| 收稿时间： | 2005-05-17 |
| 修稿时间： | 2006-04-10 |
Influence of Oriented Deposition on Thin Film Morphology and Magnetic Properties of NdFeB |
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| Fu Mingxi,Zong Hu,Li Yan,Zha Yanqing. Influence of Oriented Deposition on Thin Film Morphology and Magnetic Properties of NdFeB[J]. Rare Metal Materials and Engineering, 2006, 35(7): 1109-1112 |
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| Authors: | Fu Mingxi Zong Hu Li Yan Zha Yanqing |
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| Affiliation: | School of Material of Science and Technology, Jiangsu University, Zhenjiang 212013 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | NdFeB film oriented depositing dynamic heating magnetic property |
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