Affiliation: | 1. Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologia, Departament d’Enginyeria Electrònica, Universitat Politècnica de Catalunya, c/Jordi Girona 1-3, 08034 Barcelona, Spain;2. Grup d’Energia Solar, Departament de Física Aplicada i Òptica, Universitat de Barcelona, Avda. Diagonal 647, 08028 Barcelona, Spain;3. Institut de Ciències Fotòniques, Mediterranean Technology Park, Av. Canal Olimpic s/n, 08860 Castelldefels, Spain;4. Department of Microsystems, IK4-IKERLAN S. Coop., Polo de Innovación Garaia, Goiru 9, 20500 Arrasate-Mondragon, Spain |