JBX—6AⅡ变形电子束曝光机的计算机控制系统的改进与升级

本文简要介绍了ＪＢＸ－６Ⅱ电子束曝光机用计算机控制系统的改进，升级情况。文章首先对控制系统作了简单分析，从提高系统工作的稳定性与可靠性出发，进而叙述了更新硬盘的技术问题以及对操作系统的升级，并给出了生成操作系统过程中数据分区实例。