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制备参数和退火对a—C:H膜光学性质的影响
作者姓名:
陈光华 卢阳华
摘 要:
本文主要研究了制备参数和退火对a-C:H膜的光学性质的影响。得到了样品的吸收系数、光学带隙和带尾宽度等反映a-C:H膜电子能带结构的物理参数。
关 键 词:
a-C:H膜 金刚石材料 光学性质 物理数
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