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| 高频溅射碳化硅薄的退火效应 | |
| 作者姓名： | 陈伟 石磊 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学结构研究开放实验室 |
| 摘 要： | 本采用高频溅射方法，在抛光Ｓｉ（１１１）衬底上制备出碳化硅薄膜，了薄膜的高温真空退火勺，实验表明，退火后的薄膜具有较淡理想的结晶取向和发光性质。 |
| 关 键 词： | 碳化硅薄膜 退火效应 高频溅射 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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