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偏心Bridgman—Hg1—xCdxTe晶体生长S—L界面形状的数值模拟
引用本文:
王培林,邓开举.偏心Bridgman—Hg1—xCdxTe晶体生长S—L界面形状的数值模拟[J].半导体学报,1996,17(1):16-20.
作者姓名:
王培林
邓开举
摘 要:
用三维数值模拟方法研究了偏心Bridgman-Hg1-xCdxTe晶体生长系统S-L界面附近的温度分布。考察了偏心程度,安瓿与炉膛直径相对大小以及炉膛温度分布等对倾斜S-L界面的影响情况。
关 键 词:
晶体生长
Bridgman法
HgCdTe
S-L界面
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