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| ZnSe的MOVPE生长相图：以DMZn和H_2Se为源 | |
| 引用本文： | 段树坤,陆大成.ZnSe的MOVPE生长相图：以DMZn和H_2Se为源[J].半导体学报,1996,17(6):401-405. |
| 作者姓名： | 段树坤 陆大成 |
| 作者单位： | [1]集成光电子学国家重点实验室 [2]半导体材料科学实验室 |
| 摘 要： | 本文基于热力学平衡计算，首次给出以ＤＭＺｎ和Ｈ２Ｓｅ为源，ＭＯＶＰＥ生长ＺｎＳｅ的相图．文中讨论了ＺｎＳｅ单一凝聚相区的范围，以及可能出现ＺｎＳｅ（ｓ）＋Ｚｎ（ｓ）或ＺｎＳｅ（ｓ）＋Ｓｅ（ｌ）两种双凝聚相区的条件． |
| 关 键 词： | DMZn源 H2Se源 MOVPE 生长相图 硒化锌 发光器件 |
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