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| MBE生长Zn1—xCdxSe／ZnSe超晶格的SIMS和AES谱 | |
| 引用本文： | 叶海,陈云良.MBE生长Zn1—xCdxSe／ZnSe超晶格的SIMS和AES谱[J].半导体学报,1996,17(1):60-64. |
| 作者姓名： | 叶海 陈云良 |
| 摘 要： | 本简要叙述了运用ＭＢＥ技术成功生长出Ｚｎ１－ｘＣｄｘＳｅ／ＺｎＳｅ超晶格的一些工艺和渗数，并对不同的样品进行了ＳＩＭＳ和ＡＥＳ的测试，首次测得了这种材料的元素分布，结果显示ＺｎＣｄＳｅ／ＺｎＳｅ超晶格有良好的纵向元素分布。 |
| 关 键 词： | MBE生长 硒化锌 ZnCdSe 超晶格 SIMS AES谱 |
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