|
|||||
|
|
| 聚酰亚胺,四甲基氢氧化胺对Si—SiO2界面的影响 | |
| 引用本文： | 张济龙.聚酰亚胺,四甲基氢氧化胺对Si—SiO2界面的影响[J].半导体杂志,1998,23(2):1-3. |
| 作者姓名： | 张济龙 |
| 作者单位： | 西南农业大学基础科技学院物理系 |
| 摘 要： | 通过几组对比实验，揭示了聚酰亚胺、四甲基氢氧化胺对Ｓｉ－ＳｉＯ２界面的影响：聚酰亚胺在Ｓｉ－ＳｉＯ２界面上引入正电荷，四甲基氢氧化胺则在Ｓｉ－ＳｉＯ２界面上引入负电荷。 |
| 关 键 词： | 界面 硅 二氧化硅 聚酰亚胺 四甲基氢氧化胺 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |