| 绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法 |
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| 引用本文： | 郑黎明. 绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法[J]. 机电产品开发与创新, 2015, 28(4) |
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| 作者姓名： | 郑黎明 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,130033 |
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| 基金项目： | 高集成化单码道绝对式光栅尺研发及产业化(2013ZX04007021)绝对式光栅尺研发 |
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| 摘 要： | 针对绝对式光栅尺产品的精度检测需求,对精度检测设备进行了设计。首先根据光栅尺产品的精度参数,确定检测手段和检测指标,介绍了检测过程存在的基本误差项。然后给出了检测设备详细的检测方案,并对该方案进行了误差分析。最终给出了绝对式光栅尺产品的精度检测与修正方法。检测与修正试验表明修正后光栅尺精度达到±1μm/m。
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| 关 键 词： | 绝对式光栅尺 精度检测 激光干涉仪 精度修正 |
The Accuracy Detection Equipment and the Accuracy Correction Algorithm of Absolute Linear Encoder Product |
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| ZHENG Li-Ming. The Accuracy Detection Equipment and the Accuracy Correction Algorithm of Absolute Linear Encoder Product[J]. Development & Innovation of Machinery & Electrical Products, 2015, 28(4) |
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| Authors: | ZHENG Li-Ming |
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