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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
容栅传感器的误差平均效应
作者姓名:
凌锐鸿
张跃华
王佶
作者单位:
成都大学!成都,610081(凌锐鸿,张跃华),成都精密测量工程公司!成都,610056(王佶)
摘 要:
介绍了容栅传感器的工作原理,进行了容栅传感器的精度分析,提出了一种容栅传感器刻线误差的新而具体的计算方法,按该方法计算出的结果与实测得到的结果极为吻合。据此,对容栅传感器的主要元件(动、定栅板)的制造精度要求不必过高。因而,这个计算方法具有重要的实用价值。
关 键 词:
容栅传感器
刻线误差
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