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容栅传感器的误差平均效应
作者姓名:凌锐鸿  张跃华  王佶
作者单位:成都大学!成都,610081(凌锐鸿,张跃华),成都精密测量工程公司!成都,610056(王佶)
摘    要:介绍了容栅传感器的工作原理,进行了容栅传感器的精度分析,提出了一种容栅传感器刻线误差的新而具体的计算方法,按该方法计算出的结果与实测得到的结果极为吻合。据此,对容栅传感器的主要元件(动、定栅板)的制造精度要求不必过高。因而,这个计算方法具有重要的实用价值。

关 键 词:容栅传感器  刻线误差
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