涡轮分子泵制造工艺的一些改进及其在微波管排气的初步应用 |
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引用本文: | 王景航,林岱恩,王恒松,贾学信.涡轮分子泵制造工艺的一些改进及其在微波管排气的初步应用[J].真空,1980(6). |
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作者姓名: | 王景航 林岱恩 王恒松 贾学信 |
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作者单位: | 一四一二所
(王景航,林岱恩,王恒松),一四一二所(贾学信) |
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摘 要: | 我所制造的AG075、 028型立式涡轮分子泵与我国FB—1型立式涡轮分子泵是同一类型产品。在制做过程中对电机、隔离环等进行了一些改进。产品制成后,对O型运波管进行了排气实验,通过排气过程的质谱分析及管子封离后的频谱分析表明管子的主要性能(信/杂、寄生调频、边带噪声等)都优于有油排气系统(机械泵+扩散泵+冷阱),平于无油排气系统(分子筛吸附泵+钛升华泵+离子泵)。
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