| 声表面波马达 |
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| 引用本文： | 周广华,刘景全,杨斌,黄水华. 声表面波马达[J]. 电子工艺技术, 2004, 25(6): 231-233,268 |
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| 作者姓名： | 周广华 刘景全 杨斌 黄水华 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030 |
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| 摘 要： | 给出了超声马达的新进展-声表面波马达.由于其驱动信号是可以由结构简单的叉指电极激发的声表面波,因而克服了一般的超声马达结构复杂,制造困难以及小型化困难等缺点.本文给出了国内外声表面波马达的研究现状,并对其进一步的研究作了探讨.
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| 关 键 词： | 超声波马达 声表面波马达 多自由度 叉指电极 小型化 |
| 文章编号： | 1001-3474(2004)06-0231-03 |
Surface Acoustic Wave Motor |
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| ZHOU Guang-hua,LIU Jing-quan,YANG Bin,HUANG Shui-hua. Surface Acoustic Wave Motor[J]. Electronics Process Technology, 2004, 25(6): 231-233,268 |
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| Authors: | ZHOU Guang-hua LIU Jing-quan YANG Bin HUANG Shui-hua |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ultrasonic motor Surface acoustic motor Multiple degree of freedom Interdigital transducer Miniaturization |
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