| 静电悬浮转子微陀螺悬浮控制系统的研究 |
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| 引用本文： | 肖奇军,崔峰,李胜勇,陈文元,张卫平. 静电悬浮转子微陀螺悬浮控制系统的研究[J]. 传感技术学报, 2008, 21(2): 346-349 |
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| 作者姓名： | 肖奇军 崔峰 李胜勇 陈文元 张卫平 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳科学技术研究院,上海200030;肇庆学院电子信息工程系,广东肇庆510090;上海交通大学微纳科学技术研究院,上海,200030 |
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| 基金项目： | 武器设备预研基金，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 针对一种新颖的基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,提出了悬浮控制系统的原理和设计,并着重对z轴悬浮控制系统的设计进行了分析,建立了Z轴方向悬浮控制系统的数学模型,通过分析扰动力对转子位移的影响,得出PID(比例-积分-微分控制)参数决定动态刚度,通过仿真结果可以看出,采用反馈线性化可补偿系统的负刚度特性,结合变预载控制实现转子的快速准确定位,为后续的旋转和加矩控制提供良好的条件.
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| 关 键 词： | 静电悬浮控制 微陀螺 反馈线性化 变预载控制 |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)02-0346-04 |
| 修稿时间： | 2007-09-30 |
Research on the Levitation Control System of Electrostatically Suspended Micro-gyroscope |
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| XIAO Qi-jun,CUI Feng,LI Sheng-yong,CHEN Wen-yuan,ZHANG Wei-ping. Research on the Levitation Control System of Electrostatically Suspended Micro-gyroscope[J]. Journal of Transduction Technology, 2008, 21(2): 346-349 |
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| Authors: | XIAO Qi-jun CUI Feng LI Sheng-yong CHEN Wen-yuan ZHANG Wei-ping |
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| Abstract: | It is presented in this paper a novel electrostatically suspended gyroscope based on MEMS and the design of the levitation control system.It is especially analysed the Z axis levitation system and constructed the mathematic model of Z axis levitation control system.Trough the analysis of the disturbing force impact on the displacement of the rotor,we can draw the conclusion that the PID parameter determine the dynamic stiffness.From the simulation result we can see that the use of the feedback linearization can compensate the negative stiffness characteristic of the system.It can also realize the fast and accurate position-setting of the rotor and provide good condition for the rotary and applied moment control. |
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