| 三维形貌测量中自动调焦系统的设计 |
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| 引用本文： | 童凯,任锐,李志全. 三维形貌测量中自动调焦系统的设计[J]. 光电工程, 2004, 31(3): 56-59 |
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| 作者姓名： | 童凯 任锐 李志全 |
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| 作者单位： | 燕山大学,河北,秦皇岛,066004;装甲兵工程学院控制工程系,北京,100072 |
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| 摘 要： | 在相移干涉显微镜中增加了自动调焦系统,使其快速获取高清晰干涉图像,提高了三维形貌的测量速度和测量精度。调焦系统采用图像自动调焦方法,分别以图像标准差函数和图像最大熵函数作为粗调函数和精调函数。实验表明本系统自动调焦范围扩大到150m,自动调焦精度为0.3m,调焦时间为4-8s。
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| 关 键 词： | 自动调焦 形貌测量 干涉显微镜 相移 |
| 文章编号： | 1003-501X(2004)03-0056-04 |
| 收稿时间： | 2003-02-20 |
| 修稿时间： | 2003-02-20 |
Design of an automatic focusing system for 3-D topography measurement |
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| TONG Kai,REN Rui,LI Zhi-quan. Design of an automatic focusing system for 3-D topography measurement[J]. Opto-Electronic Engineering, 2004, 31(3): 56-59 |
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| Authors: | TONG Kai REN Rui LI Zhi-quan |
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| Affiliation: | TONG Kai1,REN Rui2,LI Zhi-quan1 |
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| Keywords: | Automatic focusing Topography measurement Interference microscope Phase shift |
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