10^—9—10^—2Torr残气分析用的四极分析器微陈列 |
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作者姓名: | 张旭 Ferr. RJ |
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摘 要: | 本文介绍了一种微型质谱计的设计、结构和特性,该质谱计由16根圆杆微陈列成的9个四极质量分析器组成,用于残气分析。这种全新的设计由于减小了尺寸,从而缩短了路径与平均自由程之比^*,使动态范围在高压端扩展到10^-2Torr,时同保证了低压端的灵敏度和质量分辨率。该质谱计体积小、重量轻、低功耗、低成本,从而有很多的新作用,例如高压过程的实监控,还讨论了该质谱计在工作压强比传统质谱计高二个数量级环境下的
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关 键 词: | 残气分析 四极分析器 微型 质谱仪 量程 真空 |
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