不同参数选择对场发射扫描电镜图像的影响 |
| |
作者姓名: | 高翔 朱紫瑞 孙伟 |
| |
作者单位: | 西北大学化学与材料科学学院,陕西 西安,710127;西北大学文化遗产学院,陕西 西安,710127 |
| |
摘 要: | 场发射扫描电子显微镜(FESEM)是扫描电镜的一种,主要用于对样品显微结构的表征,同时还能定性、定量地获得样品微观区域内的化学成分和结构信息。目前作为一种先进的测试技术手段,FESEM在科学研究、工业生产和刑侦物证等众多领域中得到广泛的应用。本文研究了加速电压、工作距离、探头选择、信号选择等不同参数对FESEM图像的影响,并针对一些材料的形貌表征提出了较佳的参数选择。
|
关 键 词: | 场发射扫描电子显微镜 加速电压 工作距离 二次电子 背散射电子 |
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录! |
|