| 不锈钢表面真空镀膜方法研究进展 |
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| 作者姓名： | 陈文静 董少锋 张洪华 陈育茹 温薛鑫 杨富国 |
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| 作者单位： | 佛山科学技术学院环境与化学工程学院,广东 佛山,528000;佛山科学技术学院环境与化学工程学院,广东 佛山,528000;佛山科学技术学院环境与化学工程学院,广东 佛山,528000;佛山科学技术学院环境与化学工程学院,广东 佛山,528000;佛山科学技术学院环境与化学工程学院,广东 佛山,528000;佛山科学技术学院环境与化学工程学院,广东 佛山,528000 |
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| 基金项目： | 佛山科学技术学院大学生创新创业训练计划项目;广东省大学生创新创业训练计划项目;佛山科学技术学院2019年度学生学术基金立项项目;“攀登计划”广东大学生科技创新培育专项资金项目 |
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| 摘 要： | 综述了国内外真空镀膜方法,包括化学气相沉积与物理气相沉积方法对不锈钢表面镀膜的研究进展,介绍了热化学气相沉积方法,重点阐述了溅射镀膜方法(包括直流二极溅射、磁控溅射及离子束溅射)及离子镀技术在不锈钢表面镀膜时对薄膜种类、沉积速率、结合力等方面的特点。最后对不锈钢表面各种真空镀膜方法进行了分析对比,指出了存在的问题及今后的发展方向。
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| 关 键 词： | 不锈钢 表面 物理气相沉积 化学气相沉积 |
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