| 退火对6H-SiC晶体的光学性质及光致发光的影响 |
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| 引用本文： | 马峥,连洁,王青圃,马跃进,宋平,高尚,吴仕梁,王晓,徐现刚,李娟.退火对6H-SiC晶体的光学性质及光致发光的影响[J].红外与激光工程,2010,39(5). |
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| 作者姓名： | 马峥 连洁 王青圃 马跃进 宋平 高尚 吴仕梁 王晓 徐现刚 李娟 |
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| 基金项目： | 山东大学晶体材料国家重点实验室开放课题资助项目 |
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| 摘 要： | 利用双光束分光光度计对高温退火前后的掺氮和未掺杂6H-SiC晶体的透射及反射谱进行了分析,发现无论退火前后,两种SiC晶体在紫外区均存在强烈的吸收.在可见和近红外区,尤其是未掺杂SiC样品具有很高的透射率,退火后,两种样品的透射率均明显提高.利用荧光分光光度计研究了退火前后样品的光致发光特性,结果表明:在390 nm Xe灯激发下.两种样品在417 nm和436 nm处均可观察到蓝光发射,417 nm处的发光归结于C簇的发光,436 nm处的发光机理为从晶粒的核心激发载流子转移到晶粒表面,并与其上的发光中心辐射复合;同时,掺氮SiC在575 nm处还存在发光峰,为氮掺入后引起的非晶SiC的发光,在325 nm Xe灯激发下,525 nm处存在发光峰,其详细发光机制有待进一步研究.
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| 关 键 词： | 6H-SiC晶体 光学性质 光致发光 |
Influence of annealing on optical properties and photoluminescence of 6H-SiC crystal |
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| MA Zheng,LIAN Jie,WANG Qing-pu,MA Yue-jin,SONG Ping,GAO Shang,WU Shi-liang,WANG Xiao,XU Xian-gang,LI Juan.Influence of annealing on optical properties and photoluminescence of 6H-SiC crystal[J].Infrared and Laser Engineering,2010,39(5). |
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| Authors: | MA Zheng LIAN Jie WANG Qing-pu MA Yue-jin SONG Ping GAO Shang WU Shi-liang WANG Xiao XU Xian-gang LI Juan |
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