| MEMS CAD系统IMEE的研究和开发 |
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| 引用本文： | 张海霞,郭辉,肖志勇,周荣春,郝一龙. MEMS CAD系统IMEE的研究和开发[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 92-95 |
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| 作者姓名： | 张海霞 郭辉 肖志勇 周荣春 郝一龙 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子学研究院,北京,100871 |
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| 基金项目： | "973"计划集成微光机电系统研究项目"微系统设计方法、建模、数据库和仿真相关问题研究"(G1999033109);教育部重点项目"MEMS设计关键技术及器件"(0216) |
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| 摘 要： | IMEE是一个自主研发的MEMS CAD系统,它包括节结点化的系统设计功能、工艺编辑、设计和三维模拟功能、参数化版图单元的版图设计功能等。该系统的最大特点是以工艺为主线,贯穿整个设计过程,重点解决MEMS设计与工艺脱节的问题．实现MEMS工艺设计和在线模拟。另外,该系统是跨平台的,即适用于UNIX也适用于WINDOWS操作系统,对其他MEMSCAD软件具有很好的兼容性,还支持用户自主扩展其他功能模块。
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| 关 键 词： | MEMS 微电子机械系统 CAD系统 IMEE 操作系统 MEMSCAD软件 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0092-04 |
| 修稿时间： | 2003-05-15 |
The research and development of MEMS CAD tool IMEE |
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