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| Co,Ti／Si1—xGex薄膜快速退火固相反应结构和组分研究 | |
| 引用本文： | 亓文杰,张翔九.Co,Ti／Si1—xGex薄膜快速退火固相反应结构和组分研究[J].半导体学报,1994,15(8):524-532. |
| 作者姓名： | 亓文杰 张翔九 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 分子束外延 退火 固相反应 钴 钛 |
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