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| 我国"十五"期间IC制造装备的发展战略研究 | |
| 引用本文： | 汪劲松,朱煜.我国"十五"期间IC制造装备的发展战略研究[J].机器人技术与应用,2002(2):5-9. |
| 作者姓名： | 汪劲松 朱煜 |
| 作者单位： | 清华大学制造工程研究所 |
| 摘 要： | 本文将通过世界IC工艺装备的发展趋势和国内现状的分析，从十五“863”重大专项的角度，对我国的IC装备发展战略进行探讨，提出以100nm的光刻机等关键设备为战略目标，以自主技术创新突破和产业化为目的，实现我国IC装备技术和产业的跨越式发展。 |
| 关 键 词： | 集成电路 制造装备 光刻机 发展战略 工艺 |
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