容栅传感器数学模型的研究

0 引言容栅传感器是一种新型的变面积式大位移电容传感器,被广泛应用于电子数显卡尺、高度尺和机床标尺中,具有测量范围大、结构小巧、抗干扰能力强和耗能少等特点。但在以往研究中存在下列问题:提出的等效电路不尽合理,没做过实测;未对激励电压做准确、细致的定量分析;未实测与拟合电容—位移之间的数量关系;未对接收电极上的信号进行计算机分析。为此,本文采用理论计算和实际测试相结合的方法,探讨其工作原理,提出新的等效电路,对激励电压、电容随位移变化关系以及接收电极上的输出信号进行研究。