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| 矩形硅杯绝对压力传感器的研制 | |
| 作者姓名： | 朱作云 李跃进 王文襄 郭源生 王麦广 |
| 作者单位： | 西安电子科技大学微电子研究所!西安710071(朱作云，李跃进)，宝鸡秦岭晶体管厂!宝鸡721001(王文襄，郭源生，王麦广) |
| 摘 要： | 绝对压力传感器大量应用于环境压力检测、海拔高度测量、大气数据处理、地球物理研究、海底测量等领域.尤其是近年来在汽车行业中的大量应用,使性能好、价格低、通用 |
| 关 键 词： | 绝对压力 压力传感器 传感器 |
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