| ZnS/CuInS2/Mo/钠钙玻璃衬底上射频溅射ZnO:Al薄膜的SEM研究 |
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| 引用本文： | 邵乐喜,刘小平,黄惠良.ZnS/CuInS2/Mo/钠钙玻璃衬底上射频溅射ZnO:Al薄膜的SEM研究[J].半导体学报,2005,26(Z1):49-51. |
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| 作者姓名： | 邵乐喜 刘小平 黄惠良 |
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| 作者单位： | 邵乐喜（湛江师范学院信息科技学院,湛江,524048）;刘小平（湛江师范学院信息科技学院,湛江,524048）;黄惠良（国立清华大学电子工程研究所,新竹,300） |
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| 基金项目： | 广东省自然科学基金(批准号:31927),广东省科技(工业攻关)计划(批准号:2003C105005)和教育部留学回国人员科研启动基金(批准号:[2004]176)资助项目 |
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| 摘 要： | 结合ZnO薄膜在Cu-Ⅲ-Ⅵ2基薄膜太阳电池上的应用,采用射频磁控溅射技术以陶瓷ZnOAl2O3为靶材在ZnS/CuInS2/Mo/钠钙玻璃衬底上于固定沉积条件下低温(200℃)制备了铝掺杂氧化锌(ZnOAl)薄膜.运用扫描电子显微镜研究了底层材料特别是ZnS和CuInS2的生长参数对沉积的ZnOAl薄膜的表面形貌的影响.实验发现,衬底材料中硫含量的增加(无论来自ZnS还是来自CuInS2),都会引起沉积ZnOAl薄膜结晶质量的提高,而金属含量的增大将有利于薄膜均匀性的改进.
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| 关 键 词： | 铝掺杂氧化锌薄膜 射频溅射 扫描电镜 ZnS/CuInS2/Mo/钠钙玻璃衬底 |
| 文章编号： | 0253-4177(2005)S0-0049-03 |
| 修稿时间： | 2004年10月7日 |
SEM Investigation on
Influences of ZnS/CuInS2/Mo/SL-Glass Substrate on RF Sputtered ZnO: Al Films |
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| Shao Lexi.SEM Investigation on
Influences of ZnS/CuInS2/Mo/SL-Glass Substrate on RF Sputtered ZnO: Al Films[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(Z1):49-51. |
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| Authors: | Shao Lexi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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