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| 溅射制备的SrS:Ce蓝——绿发光TFEL器件 | |
| 引用本文： | 邸建华.溅射制备的SrS:Ce蓝——绿发光TFEL器件[J].液晶与显示,1991(2). |
| 作者姓名： | 邸建华 |
| 摘 要： | 用射频溅射技术制备出 SrS∶Ce 荧光粉薄膜,并用这种溅射薄膜制备了蓝—绿发光TFEL 器件,经研究发现这种器件的亮度和效率与薄膜生长过程中的气体压力、溅射靶的杂质含量、衬底温度和有源层厚度有函数关系,实验结果证明用溅射技术取代常规的电子束蒸发技术可以在<300℃的衬底温度 |
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