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| 半导体柔性加工中的设备和工艺技术 | |
| 作者姓名： | 钱小工 |
| 作者单位： | 电子工业部第十三研究所 |
| 摘 要： | 半导体柔性加工中的设备和工艺技术电子工业部第十三研究所（石家庄０５００５１）钱小工１半导体柔性制造技术与ＭＭＳＴ计划传统的半导体器件和ＩＣ制造大都采用大批量生产的方式，这种方式能实现工艺流程的最佳化，并降低了每个器件或晶片加工的成本。但是，这种方式并... |
| 关 键 词： | 半导体 柔性制造 设备 工艺 |
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