一种制造高纯三氟化磷气体的简易方法

本文介绍一种高纯PF_3气体的简易制作方法。给出所研制的PF_3气体在L1-2离子注入机上质谱分析的结果以及工艺试验结果。结果表明可供各类离子注入机、尤其冷阴极离子源的注入机掺磷使用。