微光机电系统国内外研究进展

本文概述了国际上十分重视的微光机电系统的产生、发展及其显著特点，并从微制造技术、微器件与系统及激光机电系统的应用等几方面简要介绍了国内外发展现状。我国微光机电系统的研究起步并不算晚，近年来成果十分显著，但要缩小与世界先进水平的差距，还需多方面的努力。