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表面电离离子源的研究
引用本文:吴冲若,金方可,徐响珍.表面电离离子源的研究[J].电子器件,1985(2).
作者姓名:吴冲若  金方可  徐响珍
作者单位:南京工学院 (吴冲若,金方可),南京工学院(徐响珍)
摘    要:一、引言 离子与表面的相互作用及其谱仪SIMS.ISS、INS等是一个较为年轻的领域,它正在科学研究和工业中发挥日益重要的作用。

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