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| 双频激光干涉仪动态测量系统 | |
| 作者姓名： | 刘纪苟 端木时夏 |
| 作者单位： | 上海机械学院，上海机械学院 |
| 摘 要： | 一、引言双频激光干涉仪是以激光波长为基准的精密测试仪器。它不仅可作为长度、角度和平直度等测量基准,而且体积小、便于携带,可在计量室、车间及环境要求不高的场合使用。因而,它在机床和三座标测最机等的几何精度和定位精度的测定,仪器测量精度的标定等方面都得到广泛的应用。 |
| 关 键 词： | 双频激光干涉仪；动态测量系统；激光波长；定位精度；平直度；误差数据；计量室；测量基准；标测；数据采样 |
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