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使用压电薄膜的指纹传感器
摘 要:
提供了一种通过将作用于压电薄膜的压力转换成电信号来感知指纹的指纹传感器。该指纹传感器具有一个压电器件集合体,由下及上分别为衬底、下部电极、压电薄膜、上部电极、加压部分以及在下部电极上形成的非导电层。加压部分用于通过由于指纹接触所产生的压力来改变压电薄膜上的电荷量;非导电层用于支撑和暴露加压部分。该指纹传感器结构简单,并且能够利用压电现象准确感知指纹信息,故可广泛应用于公共机构和私人企业中用于确定人员身份的系统以及个人便携系统。
关 键 词:
压电薄膜
指纹传感器
电荷量
非导电层
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