湿法刻蚀对背钝化多晶电池的影响 |
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引用本文: | 郭卫,李雪方,申开愉.湿法刻蚀对背钝化多晶电池的影响[J].山西化工,2023(1):21-23. |
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作者姓名: | 郭卫 李雪方 申开愉 |
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作者单位: | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
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摘 要: | 背钝化多晶电池工艺中通常使用各种化学品,采用链式设备对硅片进行清洗、制绒等处理,以达到后续的外观、洁净度等工艺要求。背钝化多晶电池生产中,需要对多晶硅片进行多次化学品处理。多晶制绒工艺在生产顺序的上游完成,接着再进行背面钝化、清洗等工艺时,如果多晶硅片正面没有进行有效保护,就会对多晶硅片的绒面结构造成破坏,不仅影响成品电池片正面外观,同时也影响电池片转换效率和质量检测。本文优化了原有的旧制绒工艺,通过改变不同刻蚀工艺时的化学品配比、减重量、反射率等,既可以对硅片进行有效清洗,同时也能避免对硅片外观造成破坏,调试出了适合背钝化多晶电池湿法刻蚀处理的工艺流程与控制参数。
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关 键 词: | 绒面 减重量 反射率 |
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