| 磁过滤沉积TiAlSiN纳米薄膜的摩擦磨损与腐蚀磨损行为 |
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| 引用本文： | 蒋琴,孙丽,张旭.磁过滤沉积TiAlSiN纳米薄膜的摩擦磨损与腐蚀磨损行为[J].表面技术,2022,51(8):214-224. |
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| 作者姓名： | 蒋琴 孙丽 张旭 |
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| 作者单位： | 北京师范大学 核科学与技术学院，北京 100875 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(12175019);国家自然科学基金联合基金重点项目(U1865206);国家科技重大专项(2017-VII-0012-0107) |
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| 摘 要： | 目的 研究磁过滤沉积方法制备的TiAlSiN纳米薄膜的结构及力学性能对摩擦学性能及腐蚀磨损行为的影响。方法 采用磁过滤阴极真空弧沉积技术，在6×10–2～15×10–2 Pa的N2气压条件下，将316L不锈钢作为基底，制备出TiAlSiN薄膜。利用SEM、XRD、XPS对薄膜的结构成分形貌进行表征分析，使用摩擦磨损仪分析测试薄膜的摩擦磨损行为，并且使用电化学工作站分析测试薄膜在3.5%(质量分数)人工海水环境下的摩擦磨损及开路电位变化曲线，通过台阶仪测得磨损后磨痕轮廓曲线，并计算磨损率。结果 TiAlSiN薄膜具有典型的非晶包覆纳米晶的复合结构，薄膜表面细致光滑，截面无明显柱状晶结构。随着气压的增大，薄膜晶粒尺寸从26 nm降至12 nm。在0.08 Pa气压下制备的TiAlSiN薄膜的力学性能最佳，纳米硬度为22 GPa，基膜结合力达到28 N，干摩擦系数为0.412，磨损率为0.5×10–6 mm3/(N·m)。在3.5%人工海水介质中，TiAlSiN薄膜的摩擦系数为0.3...
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| 关 键 词： | TiAlSiN薄膜 磁过滤阴极真空弧沉积技术 耐磨性 磨损腐蚀 |
Wear and Corrosion-Wear Behavior of TiAlSiN Nano-film Deposited by Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition |
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| JIANG Qin,SUN Li,ZHANG Xu.Wear and Corrosion-Wear Behavior of TiAlSiN Nano-film Deposited by Filtered Cathodic Vacuum Arc Deposition[J].Surface Technology,2022,51(8):214-224. |
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| Authors: | JIANG Qin SUN Li ZHANG Xu |
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| Affiliation: | College of Nuclear Science and Technology, Beijing Normal University, Beijing 100875, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiAlSiN film filtered cathodic vacuum arc deposition wear resistance corrosion-wear |
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