| 氮氩流量比对磁控溅射CrAgCeN涂层摩擦学性能的影响 |
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| 引用本文： | 畅为航,蔡海潮,薛玉君,雷贤卿,李航.氮氩流量比对磁控溅射CrAgCeN涂层摩擦学性能的影响[J].表面技术,2022,51(8):262-271. |
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| 作者姓名： | 畅为航 蔡海潮 薛玉君 雷贤卿 李航 |
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| 作者单位： | 河南科技大学 机电工程学院 河南省机械设计及传动系统重点实验室，河南 洛阳 471003;南阳理工学院，河南 南阳 473004;河南科技大学 机电工程学院 河南省机械设计及传动系统重点实验室，河南 洛阳 471003;洛阳 LYC 轴承有限公司航空精密轴承国家重点实验室，河南 洛阳 471023 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划(2021YFB3400401);河南省科技攻关项目(202102210073);国家国防基础科研计划项目(JCKY2018419C101) |
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| 摘 要： | 目的 研究不同氮氩流量比对磁控溅射制备CrAgCeN涂层微观组织结构和摩擦学性能的影响。方法 采用扫描电子显微镜、X射线衍射仪对涂层表面形貌、成分和微观组织进行分析。采用纳米压痕仪、球盘式摩擦磨损试验机和白光干涉三维形貌仪，测试涂层的力学性能和摩擦学性能。结果 在给定的氮氩流量比下，CrAgCeN涂层主要有CrN、Cr2N、Ag、AgN3和Ce相构成，引入Ce、Ag可改变组织结构，随着氮氩流量比的增加，CrAgCeN涂层表面形貌由三角锥状转变为球状，在氮氩流量比为1.5时，涂层组织更加致密。涂层硬度和弹性模量随着氮氩流量比的增加呈现先升高后降低的趋势，在氮氩流量比为1.5时，硬度(H)和弹性模量(E)最大，分别为14.1 GPa和213.8 GPa;H/E值最高，为0.066，反映涂层具有较好的抗塑性变形能力。随着氮氩流量比的增加，摩擦因数和磨损率先减小后增大，在氮氩流量比为1.5时，涂层的摩擦因数和磨损率最小，分别为0.381和1.1×10-6 mm3/(N·m)，相比于氮氩流量比为0.6、1、3...
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| 关 键 词： | 氮氩流量比 磁控溅射 CrAgCeN涂层 摩擦磨损 |
Effect of Nitrogen-to-argon Flow Ratio on Properties of CrAgCeN Coating by Magnetron Sputtering |
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| CHANG Wei-hang,CAI Hai-chao,XUE Yu-jun,LEI Xian-qing,LI Hang.Effect of Nitrogen-to-argon Flow Ratio on Properties of CrAgCeN Coating by Magnetron Sputtering[J].Surface Technology,2022,51(8):262-271. |
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| Authors: | CHANG Wei-hang CAI Hai-chao XUE Yu-jun LEI Xian-qing LI Hang |
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| Affiliation: | School of Mechatronics Engineering, Henan Key Laboratory for Machinery Design and Transmission System, Henan University of Science and Technology, Henan Luoyang 471003, China;Nanyang Institute of Technology, Henan Nanyang 473004, China;School of Mechatronics Engineering, Henan Key Laboratory for Machinery Design and Transmission System, Henan University of Science and Technology, Henan Luoyang 471003, China;State Key Laboratory of Aviation Precision Bearing, Luoyang LYC Bearing Corporation, Henan Luoyang 471023, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nitrogen-to-argon flow ratios magnetron sputtering CrAgCeN coating friction and wear |
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