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红外透明导电金属化合物薄膜的研究进展
引用本文:顾志清,崔灿,丁泉茗,于成龙,朱嘉琦,胡超权.红外透明导电金属化合物薄膜的研究进展[J].表面技术,2022,51(8):71-93, 134.
作者姓名:顾志清  崔灿  丁泉茗  于成龙  朱嘉琦  胡超权
作者单位:嘉兴学院 信息科学与工程学院,浙江 嘉兴 314001;吉林大学 材料科学与工程学院,长春 130012;长春理工大学 材料科学与工程学院,长春 130022;哈尔滨工业大学 特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨 150001
基金项目:国家自然科学基金(52032004,52002150);浙江省自然科学基金(LQ19E020003);嘉兴市科技局项目(2019AY11010);浙江省教育厅一般科研项目(Y201840400);嘉兴学院学生创新培养项目(202110354051)
摘    要:红外透明导电薄膜是指同时具有高红外透射率和高电导率的功能薄膜材料,其在电磁屏蔽涂层、红外光电探测器、人体红外治疗、红外发光二极管等领域有重要应用。尽管研究者已经报道了许多关于透明导电膜的综述,但是以往研究者主要关注可见光波段的透明导电,忽视了红外波段透明导电研究的系统总结和评述。本综述主要关注了N型金属氧化物和非氧化物以及P型金属氧化物、硫化物和卤化物。首先依据德鲁德自由电子理论模型分析了金属化合物红外透明性能与导电性能难以兼容的物理起源,然后归纳总结了金属化合物的制备、结构和光电性质,揭示了现有N型金属化合物普遍存在导电性高但红外透射率低的问题,P型金属化合物普遍存在红外透射率高但导电性低的问题。针对这些性能方面的瓶颈问题,讨论了薄膜制备、缺陷控制、能带化学调制以及新材料设计等方面的改性思路和可行性方法。最后展望了金属化合物未来发展方向以及仍需解决的难题,以期为设计和制备高性能的红外透明导电薄膜提供参考。

关 键 词:红外透明  导电  薄膜  金属化合物  载流子浓度  迁移率

Research Progress of Infrared Transparent Conductive Metal Compounds Thin Films
GU Zhi-qing,CUI Can,DING Quan-ming,YU Cheng-long,ZHU Jia-qi,HU Chao-quan.Research Progress of Infrared Transparent Conductive Metal Compounds Thin Films[J].Surface Technology,2022,51(8):71-93, 134.
Authors:GU Zhi-qing  CUI Can  DING Quan-ming  YU Cheng-long  ZHU Jia-qi  HU Chao-quan
Affiliation:College of Information Science and Engineering, Jiaxing University, Zhejiang Jiaxing 314001, China;School of Materials Science and Engineering, Jilin University, Changchun 130012, China;School of Materials Science and Engineering, Changchun University of Science and Technology, Changchun 130022, China;National Key Laboratory of Special Environment of Composite Technology, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China
Abstract:
Keywords:infrared transparent  conductive  films  metal compounds  carrier concentration  mobility
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